[SEMICON 日本 2022] KUMADE-FORK（EC型） - 贺茂科技有限公司

贺茂科技有限公司 在 SEMICON 日本 2022 处展示了 KUMADE-FORK（EC型）。

网站：https://harmotec.com/

和茂科技有限公司
我公司是专业从事特种上原运输的厂家。
这次，我们将解释 EC 类型。

事实上，这将是一个 EC 类型的展览。

EC型是我公司最新开发的用于输送最高300mm晶圆的机型。什么时候

对于300mm的大直径晶圆，由于自身的偏转较大，很难实现无接触转移

重量

. ，使呼出的空气和旋流呼出的面积来到根侧，并且

反之，根部呼出的空气则向顶端侧移动，在中央部分产生空气斥力。它产生了战斗的力量。

通过这样做，您可以将因自身重量弯曲的 TAIKO 威化饼向上推。

此外，还有 TAIKO 的正面、背面、今天的背面和反转。

除了薄 TAIKO 晶圆外，我们还可以处理公平晶圆、键合晶圆和厚晶圆。