[SEMICON 日本 2022] 真空平面加热装置 - 姬路理化株式会社

这次，我想介绍一下这个真空加热装置。
在这里，15个卤素加热器可以一个个独立控制，这个通过抽真空实现均匀加热。

据说这里已经申请了专利，不过其中一个特点就是引线在腔体外面。

所以当你用这个的时候，特点是你可以均匀地加热东西。